Машина для очистки пластин
-
Двухфазная очистка с наноточной структурой
-
регулируемый поток DIW и N₂
-
Управление процессом PLC+ПК
-
ручной/авто режимы
-
запись качества очистки
-
Хранение логов 6 месредактируемые рецепты — 100+
-
Комбинированная сушка: центрифуга и подсветка для пластин
-
1000 пластин без сбоев
-
повреждения<0.05%
-
Контроль полного пути пластин
-
Легкий демонтаж деталей
-
удобное обслуживание
-
Обнаружение и сигнализация положения пластин и кассет
相关推荐
预约咨询