Инфракрасный интерференционный микроскоп IS2000
精密研磨抛光系统设计科学、性能先进、自动
-
Несколько настраиваемых режимов измерений：5 точек，49 точек，крест，линейный и импульсный скан
-
Подходит для измерений шероховатых，полированных и структурированных поверхностей
-
Измерение пластин диаметром 12 дюймов и менее
-
Полный набор измерительных функций удовлетворяет потребности геометрического контроля пластин на всех стадиях полупроводникового производства
-
Вывод результатов в виде 2D/3D Mapping
-
Поддержка подробного вывода данных и удобного управления измерительными отчетами
-
Модульная система измерений позволяет контролировать прогиб пластин
-
толщину
-
микроструктуру поверхности
-
толщину пленок и другие геометрические параметры
预约咨询